表面活性剂在太阳能硅片清洗中的应用

摘要：

介绍了我国太阳能硅片发展现状及硅片清洗技术,讨论了硅片清洗对表面活性剂的要求及表面活性剂在清洗中的作用原理,综述了表面活性剂在硅片清洗中的应用,并提出了硅片清洗用表面活性剂的发展趋势。

关键词： 太阳能硅片 表面活性剂 硅片清洗 作用原理

作者: 侯军 康仁科 郭东明 彭孝军

作者单位: 大连理工大学 机械工程学院,辽宁 大连 116021 大连三达奥克化学股份有限公司,辽宁 大连 116023 大连理工大学 机械工程学院,辽宁 大连 116021 大连理工大学 精细化工国家重点实验室,辽宁 大连 116012

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程院第88场工程科技论坛(全国第十六次工业表面活性剂研究与开发会议)

会议地点: 焦作

会议语种:中文

页码: 170-174

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）