纳米技术与纳米计量技术

摘要：

回顾了纳米技术的发展过程介绍了纳米计量的必要性重点叙述了目前常用的两种纳米测量技术:激光干涉法和扫描探针法。

关键词： 纳米技术 纳米计量 扫描探针显微镜 纳米测量技术 激光干涉法

作者: 李锁印 王亚军

作者单位: 河北半导体研究所,河北 石家庄 050051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年计量与测试学术交流会暨无线电计量校准技术研讨会

会议地点: 呼和浩特

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）