直读光谱仪真空控制系统的设计与调试

摘要：

真空系统是由真空泵、真空计、被抽容器及其它元件如真空阀门、真空显示器、冷阱等，定的时间、空间内获得真空、并保持真空，确保系统内某项工艺过程的实施。本文论述了真空型直读光谱仪的真空控制系统的设计、调试及应用，是真空系统设计中一个极其成功的案例。

关键词： 真空泵 真空计 直读光谱仪 连锁保护 真空控制系统

作者: 孙兰海

作者单位: 北京瑞利分析仪器公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国光谱仪器与分析学术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 176-178

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）