铜薄膜电子-声子耦合系数的实验研究
电子元件的超微型化和高集成化，对金属互连线的导热性能提出极高的要求；同时，新型高性能光电材料的开发，又需要尽可能降低受光激发电子与声子之间的耦合。电子、声子的相互作用过程，对于能量转换与传递过程微观机理的研究至关重要。这些载能粒子的作用时间都在皮秒－飞秒量级，本文采用飞秒激光泵浦－探测热反射方法，对铜薄膜中微观粒子作用过程进行了飞秒量级的实验研究。通过对实验系统精细调节，得到了理想的信号曲线，在此基础上测量了不同泵浦光功率下沉积在硅基底上厚度为60nm铜薄膜的电子－声子耦合系数，测量结果为（11～12）×1016W/(m3K)，和理论值14×1016W/(m3 K)较为接近，并且不随泵浦光强发生变化。
电子声子耦合系数 泵浦探测 飞秒激光 铜薄膜 导热性能 热反射
马维刚 王海东 张兴 过增元
清华大学工程力学系，热科学与动力工程教育部重点实验室，北京，100084
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2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）