磁控溅射制备AlxOy陶瓷膜及其性能研究
在PET基底上采用射频电源，以纯Al为靶，氧气为反应气体，高纯氩气为等离子体磁控溅射高阻隔性AlxOy/PET包装薄膜。用红外光谱（IR）分析表明，氧化铝IR谱的峰值、强度和带宽等变化规律与氧气量有关。XPS研究发现O-Al-O伸缩振动频率与镀膜中氧和铝数量间的关系是：Al-O伸缩振动峰的波数越高，AlxOy中氧原子的含量越高。同时测量薄膜的阻隔性与力学性能显示：AlxOy膜的y:x值越接近于1.5时阻隔性能越好且薄膜横向、纵向弹性模量及屈服强度越大。此外，镀AlxOy薄膜单向拉伸力学特征有明显变化，其应力-应变曲线有2个明显的刚性转折点。
陶瓷膜 磁控溅射 力学性能 红外光谱分析
孙智慧 刘壮 林晶
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2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）