ZnO/glass薄膜结构和电学性质研究

摘要：

本研究利用脉冲激光溅射技术，分析了玻璃基片上ZnO薄膜的生长、结构、形貌以及电输运性质。x射线衍射表明ZnO薄膜为c轴取向的六角纤锌矿结构。ZnO晶粒的直径约200nm，表面粗糙度RMS～4nm。ZnO 薄膜与Ag 电极间电流-电压曲线呈线性并对称关系，表现为很好的欧姆接触，论文还讨论了ZnO和Ag电极间接触与两者功函数的关系。

关键词： ZnO薄膜 脉冲激光溅射 表面形貌 六角纤锌矿结构 电学性质

作者: 吴云龙 刘益环 赵芳红 欧迎春 张保军 左岩

作者单位: 中国建筑材料科学研究总院，北京，100024

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国玻璃科学技术年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）