石英玻璃抛光质量对腐蚀形貌的影响

摘要：

抛光后的石英玻璃表面光滑、平整，经过HF酸腐蚀后表面形貌变得凹凸不平。为了解释该现象，从Weyl的亚表面理论着手，借助研磨、抛光破坏层模型和微裂纹扩展模型，详细阐述了微裂纹的存在、变化机理。研磨、抛光后亚表面的微裂纹被认为是造成腐蚀形貌变坏的主要原因。通过不同时间抛光后的腐蚀形貌对比试验证实了该理论和模型。

关键词： 石英玻璃 抛光质量 腐蚀形貌 HF酸腐蚀 微裂纹扩展模型

作者: 邵竹锋 王慧 孙元成

作者单位: 中国建筑材料科学研究总院，北京市 100024

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国玻璃科学技术年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）