超光滑超精密玻璃抛光新技术

摘要：

超光滑抛光玻璃表面粗糙度为纳米量级，超精密抛光加工精度达到分子级或原子级。超光滑和超精密抛光新技术包括数控小工具抛光、应力盘抛光、浴法抛光、磁流变抛光、离子束抛光、电子束抛光、激光抛光和等离子辅助抛光等。重点阐述采用20KeV、1×1014 ions/cm2和1×1016ions/cm2的N+离子对钠钙硅酸盐和铅玻璃进行离子束抛光的原理与工艺，抛光后粗糙度仅为几十纳米。采用高束流脉冲电子束抛光时，当束流超过1012 W/cm2时，玻璃表面Griffith裂纹扩张，粗糙度反而增加，必须严格控制抛光时电子束能量。

关键词： 超光滑抛光 超精密抛光 玻璃表面 电子束抛光 离子束抛光 钠钙硅酸盐玻璃

作者: 王承遇 李松基 陶瑛 张咸贵 齐济

作者单位: 大连工业大学，辽宁省大连市 116001 广州市番禺大龙玻璃厂有限公司，广东省广州市 511450 大连民族学院，辽宁省大连市 116600

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国玻璃科学技术年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）