轻敲式原子力显微镜的非线性动力特性研究

摘要：

针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)中广泛应用的轻敲模式原子力显微镜，建立Lennard-Jones力场作用下的针尖—样品物理模型和系统动力学方程，应用现代微分方程与分岔理论，分析了微尺度下Lennard-Jones力场、压膜阻尼效应和立方刚度对AFM针尖—样品耦合系统动力学行为的影响规律。结果表明，压膜阻尼比是影响AFM探针—样品模型系统动力学特性的重要因素之一，对其进行深入研究有利于探讨原子力显微镜系统响应的非线性动力学行为。

关键词： 微纳机电系统 原子力显微镜 压膜阻尼 非线性动力学 物理模型

作者: 张文明 孟光

作者单位: 上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室,上海 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国非线性振动暨第九届全国非线性动力学和运动稳定性学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2009-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）