棕化工艺参数对内层结合力的影响

摘要：

本文分析了棕化工艺参数对微蚀速率、表面形貌、表面微观粗糙度、结合力的影响。从原理上阐述了棕化各化学组分及操作条件的控制对内层品质的重要性。结果表明：微蚀速率是棕化过程的关键因素，影响到表面形貌、表面微观粗糙度、棕化膜化学结合力的状况，而微蚀速率主要为双氧水浓度和温度的函数，必须控制它们在合适的范围使微蚀速率保持在1.2-1.6um/min之间。

关键词： 棕化工艺参数 表面形貌 微蚀速率 内层结合力 PCB技术

作者: 李艳国 刘湘龙 李志东

作者单位: 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009春季国际PCB技术/信息论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-10

在线出版日期: 2009-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）