液态感光抗蚀剂在图转生产中的最佳厚度

摘要：

液态感光抗蚀剂因良好的附着力和低成本等优势，使得在内层图转中得到广泛使用，由于作业状态为液态以及成型后膜厚度的缘故，所以需要更高的环境洁净度要求，产品转移也更要谨慎以避免划伤湿膜，但究竟多少才是最佳的膜厚度即节约成本又能保证质量，本文从相同的生产条件下对比不同膜厚蚀刻出来的产品合格率，论证最佳点。

关键词： 液态感光抗蚀剂 内层图转 环境洁净度 干膜附着力 膜厚度

作者: 马国利

作者单位: 天津普林电路股份有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009春季国际PCB技术/信息论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2009-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）