微电子封装设备精密定位系统的分析

摘要：

根据微电子封装设备定位平台高速高精度的特点，本文讨论精密定位系统中工作台机构形式、驱动方式、运动控制器、实时检测等关键技术和国内外现状。为研发新型微电子封装高精密定位系统提供参考。

关键词： 封装设备 精密定位 运动控制器 实时检测

作者: 印波 李克天 陈铁强 蔡召虎

作者单位: 广东工业大学,广州,510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国包装工程学术会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2008-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）