磁控溅射陶瓷薄膜(SiOX)阻隔性机理的研究

摘要：

主要研究了磁控溅射镀陶瓷薄膜（SiOX）使PET 基体阻隔性提高的机理，并对SiOX 层的堆积结构做了假设及理论分析，结合SEM 形貌表明磁控溅射SiOX层存在层状结构及针孔随机分布，阻隔性的提高可由努森扩散和层流两种机理加以解释，即在一定的压力差下，阻隔性提高决定于针孔的分布、陶瓷层厚度以及SiOX层数。

关键词： 包装材料 磁控溅射陶瓷膜 努森扩散 阻隔性机理

作者: 刘壮 林晶 孙智慧 高德

作者单位: 哈尔滨商业大学,哈尔滨,150028

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国包装工程学术会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）