氧化铝薄膜磁控溅射工艺参数对PET基体温度的影响

摘要：

主要研究在柔性基体PET 上磁控溅射氧化铝薄膜的过程中，离子刻蚀、负偏压和溅射功率对基体温度的影响，结果表明三个参数都对基体温度产生影响，为了防止PET的受热变形，离子刻蚀功率应控制在 500w 以下，负偏压应控制在200V 以下，溅射功率应低于1000w。

关键词： 包装材料 磁控溅射 陶瓷薄膜 基体温度 工艺参数

作者: 林晶 刘壮 孙智慧 高德

作者单位: 哈尔滨商业大学,哈尔滨,150028 印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,102600 哈尔滨商业大学,哈尔滨,150028

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国包装工程学术会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2008-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）