射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及摩擦学性能研究

摘要：

以C2H2 为碳源，Ar 气为辅助气体，利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片上成功地制备了类金刚石（DLC，diamond-like carbon）薄膜。通过红外光谱（FTIR）光谱分析了所制备DLC 薄膜的结构；利用原子力显微镜（AFM）分析了薄膜的表面形貌；通过表面轮廓仪测量了薄膜的沉积速率；另外，实验中还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验结果表明，制备的DLC 薄膜比较致密，均匀，有较好的耐磨性能。

关键词： 射频等离子体 化学气相沉积 金刚石薄膜 结构分析 摩擦性能

作者: 杨莉 付亚波 陈强

作者单位: 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,等离子体物理及材料研究室,北京,102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国包装工程学术会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 1-8

在线出版日期: 2008-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）