DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征

摘要：

本文利用一种新颖的高气压介质阻挡放电(DBD)等离子体下游区装置，以CH4 、H2和Ar 气体分别作为碳源与稀释气体，成功地进行了快速合成类金刚石薄膜的探索。实验分别研究了不同气体比例条件下类金刚石薄膜的生长情况，并对所合成的薄膜分别进行了水接触角、表面粗糙度、红外光谱和Raman 光谱测试分析。结果表明，在放电等离子体下游区能够快速沉积特征峰明显的类金刚石薄膜，充分体现了高气压介质阻挡放电在材料合成方面的优势。

关键词： DBD等离子体 类金刚石薄膜 性能表征 材料合成

作者: 付亚波 桑立军 常龙龙 许文才

作者单位: 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国包装工程学术会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）