基于栅线投影相关法的薄膜变形测量研究
栅线投影相关法是将栅线投影法和数字图像相关法相结合，基于数字图像相关法解调被物体高度调制的投影栅线平移量的原理，将离面位移的测量转化为面内位移的测量，从而实现微小结构三维形貌和离面变形测量的一种新方法。阐述了该方法的测量原理和标定过程，利用该方法对气压下薄膜的离面变形测量进行了研究。通过实时获取栅线投影条纹图，并与变形前的条纹图做数字图像相关计算，得到高精度的面内位移，根据标定结果即可得到薄膜变形的三维形貌和离面位移，同时得到气压和薄膜挠度关系。研究结果表明，栅线投影相关法简单易行，测试结果可靠，配合高速图像采集系统，可用于微小结构的动态测试，为实现微小结构动、静态测试展现了新的应用前景。
栅线投影法 薄膜变形 数字图像 位移测量 离面变形
刘雯雯 朱飞鹏 史红健 王子菡 何小元
东南大学工程力学系 江苏南京 210096 东南大学MEMS教育部重点实验室 江苏南京 210096 东南大学工程力学系 江苏南京 210096 湘潭大学材料与光电物理学院 湖南湘潭 411105
国内会议
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423-427
2008-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）