超薄ZnO薄膜在Cu(In,Ga)Se2太阳电池中的应用

摘要：

采用中频溅射制备ZnO 薄膜可有效改善射频磁控溅射速率慢的缺点。对于多层薄膜的制备，对向靶的设计可使样品避开等离子体直接轰击，减少基底薄膜的损伤。本文采用这项技术沉积厚度约为50nm的ZnO 薄膜，通过调整工作压强、溅射功率、氧气氩气比，制备出结晶质量高，电阻率在102～103Ohm·cm 之间，可见光去透过率达到90％的ZnO 薄膜。将其应用到CIGS 太阳电池中，取得了10.5％的光电转换效率。

关键词： 氧化锌 中频对靶 太阳电池 射频磁控溅射 多层薄膜

作者: 李微 孙云 敖建平 何青 刘芳芳 李凤岩

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届固体薄膜会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 19-23

在线出版日期: 2006-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）