氧分压对ZnO薄膜的结构、光学特性的影响

摘要：

本文研究了在不同O2分压下用螺旋波等离子体辅助射频溅射法在蓝宝石衬底的(0001)面上制备ZnO薄膜。通过对其结构，光学及电学性质的分析，探讨了氧分压对薄膜生长及其特性的影响。实验结果表明，由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用，采用该等离子体辅助溅射技术能够在合适的氧分压下可以制得较高质量的ZnO 薄膜。

关键词： 氧分压 光学特性 等离子体辅助 射频溅射法 薄膜生长

作者: 于威 许贺菊 张丽 滕晓云 张锦川 傅广生

作者单位: 河北大学物理科学与技术学院，保定 071002

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届固体薄膜会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 58-62

在线出版日期: 2006-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）