飞秒激光沉积硅基氧化锌薄膜及结构特性

摘要：

系统研究了飞秒激光沉积硅基氧化锌薄膜过程中的各种工艺参数，实验结果表明当衬底温度为80℃、激光能量为1.5mJ、真空度为10-4Pa 时，所制备的薄膜质量最佳，X 射线衍射(XRD)结果表明ZnO 薄膜呈高度c 轴取向，随着基片温度的升高，c 轴取向度降低，而ZnO(103)衍射峰增强，通过场发射扫描电子显微镜(FSEM)对薄膜表面形貌进行了观察，结果表明所制备的薄膜晶粒均匀，晶粒大小在50nm 左右。

关键词： 氧化锌薄膜 结构特性 飞秒激光沉积 扫描电子显微镜

作者: 杨光 杨义发 龙华 郑启光 陆培祥

作者单位: 华中科技大学武汉光电国家实验室和光电子科学与工程学院，武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届固体薄膜会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 85-89

在线出版日期: 2006-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）