射频磁控溅射法制备BST铁电薄膜的工艺研究

摘要：

应用射频磁控溅射方法，利用快速热退火（RTA）工艺，制备出了具有良好铁电性能的(Ba0.7Sr0.3)TiO3（BST) 铁电薄膜。通过对BST 铁电薄膜的厚度、XRD 图谱、SEM 图像和电滞回线进行分析，优化了制备BST 铁电薄膜的工艺条件。研究表明要想得到单一钙钛矿结构的BST 铁电薄膜，退火温度要高于800℃。氧气气氛的通入有利于降低BST 薄膜的矫顽场强并提高其饱和和剩余极化强度,提高铁电性能。

关键词： 射频磁控溅射 钛酸锶钡 钙钛矿相 快速热退火 铁电薄膜 极化强度

作者: 毕振兴 张之圣 胡明

作者单位: 天津大学电子信息工程学院电子科学与技术系，天津 300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届固体薄膜会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 96-99

在线出版日期: 2006-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）