脉冲激光沉积锐钛矿相二氧化钛薄膜用于气体传感器

摘要：

利用脉冲激光沉积法(PLD)在玻璃上制备了锐钛矿相TiO2 薄膜，选择金属Ti 靶材来制备薄膜。分析了在不同的衬底温度条件下制备的薄膜的结晶状态和透射光谱。结果表明在衬底温度为400℃下沉积的薄膜具有良好的结晶度和透射率，符合气体传感器的应用的要求。

关键词： 脉冲激光沉积 锐钛矿 二氧化钛薄膜 气体传感器

作者: 徐俞 沈明荣

作者单位: 苏州大学物理科学与技术学院，薄膜材料江苏省重点实验室，苏州 215006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届固体薄膜会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 113-115

在线出版日期: 2006-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）