会议专题

柔性衬底太阳电池面电极(ZnO:Al)的研究

采用孪生对靶直流磁控溅射方法,在载玻片和聚酰亚胺(PI)衬底上,低温条件下制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜材料,主要用于柔性衬底硅基薄膜太阳电池的面电极。制备的ZAO 薄膜的电阻率为4×10-4O·cm,迁移率达到30 cm2/v.s以上。XRD 测试结果表明,薄膜晶化程度较高,而且都具有C 轴择优取向。薄膜在可见光波长范围内的透过率大于85%,满足太阳能电池面电极材料的要求。

磁控溅射 柔性衬底 薄膜太阳电池 硅基薄膜 面电极

张晓 王雅欣 何青 张德贤

南开大学信息科学与技术学院,天津 300071

国内会议

第十届固体薄膜会议

苏州

中文

152-156

2006-10-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)