大宗硅烷供气系统设计

摘要：

介绍了硅烷的性质,国内外行业规范要求,以及其供气系统的工艺和本质安全设计的要点。同时对硅烷的日常使用和应急反应提出了建议,确保系统的安全可靠运行。

关键词： 硅烷 供气系统 工艺设计 本质安全 应急反应

作者: 李东升

作者单位: 上海正帆超净技术有限公司,上海 201108

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009全国特种气体第十三次年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 21-24

在线出版日期: 2009-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）