氦离子化色谱仪在电子气体(硅烷)分析中的应用

摘要：

永久性气体杂质的检测一直以来是硅烷分析的难点。在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法,样品后处理,色谱柱切割与反吹,进样阀吹扫,自动控制,数据处理等。

关键词： 气相色谱仪 电子气体 硅烷取样 尾气处理 氦离子化色谱法 气体杂质检测

作者: 方华 陈鹰 庄鸿涛 杨康 黄小强 李建浩

作者单位: 上海华爱色谱分析技术有限公司,上海 200437 上海市计量测试技术研究院,上海 201203

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009全国特种气体第十三次年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 116-121

在线出版日期: 2009-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）