多晶硅设备用炭/炭板材的研制

摘要：

作为多晶硅领域的太阳能光伏产业,对多晶硅设备的需求量激增,铸锭炉和等离子辅助化学气相沉积(PECVD)炉中需要大量的炭/炭复合材料板材。本文在分析国内外多晶硅设备及所用炭/炭复合材料板材研究进展的基础上,开展了炭/炭板材的技术开发和研制,并与西格里(SGL)板材进行性能对比。研究结果表明,研制的炭板各项性能基本能达到国外的水平。

关键词： 多晶硅 炭炭复合材料 铸锭炉 等离子辅助 化学气相沉积

作者: 陈青华 侯卫权 苏君明 肖志超 彭志刚 刘江平

作者单位: 西安航天复合材料研究所,西安超码科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第21届炭—石墨材料学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 255-259

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）