金刚石薄膜X射线弹性常数的计算
CVD金刚石薄膜中存在的晶体学织构导致金刚石薄膜的X射线弹性常数也呈现各向异性。用Voigt、Reuss和Hill模型计算了各向同性和具有理想纤维织构的CVD金刚石薄膜的X射线弹性常数矩阵,结果表明：材料的弹性矩阵强烈地依赖于材料的晶体学织构,材料弹性矩阵的对称关系从立方转变为六方对称关系,与各向同性薄膜的弹性矩阵相差很大。为了定量地分析晶体学织构对X射线弹性常数的影响,用取向分布函数(ODF)法推导了X射线弹性常数与晶体学织构系数的关系表达式。
金刚石薄膜 晶体学织构 残余应力 X射线弹性常数 分布函数
陈冷 张建升
北京科技大学材料科学与工程学院,北京 100083
国内会议
佳木斯
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387-390
2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）