非连续光滑表面超精密光学测头研究

摘要：

本文介绍了基于离焦像散原理所设计的可对光滑表面及非连续光滑表面进行测量的光学测头技术,通过实验验证得出该测头即可用于光滑表面的粗糙度测量,同时可进行非连续光滑表面的台阶尺寸测量的结论,一定程度上解决了测量精度与测量范围之间的矛盾.

关键词： 光学测量 离焦像散 非连续光滑表面 表面粗糙度

作者: 张建寰 肖成榕 付建记

作者单位: 厦门大学机电工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 厦门市科协2005年学术年会暨福建省科协第五届学术年会卫星会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 259-266

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）