光学材料亚表面损伤常用的测量方法研究

摘要：

光学材料在加工的过程中会引入亚表面损伤，对材料的使用性能造成很大的影响。因此，亚表面损伤的检测就必不可少。本文主要就亚表面损伤常见的测量方法的测量原理和特点进行了比较分析和研究。

关键词： 亚表面损伤 蚀刻速率 角度抛光 磁流变抛光 激光散射法 X射线衍射法 光学材料

作者: 李改灵 张宏涛 常林枫

作者单位: 天津军事交通学院,天津 300161 天津天保工程咨询有限公司,天津 300461

会议类型: 国内会议

会议名称: 第15届全国机械设计年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 135-136,138

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）