如何选择和使用涡轮分子泵
本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用于式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油系统,如果操作不当。很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。
涡轮分子泵 工作原理 结构型式 有油系统
杨乃恒 巴德纯 王晓冬 刘坤
东北大学,辽宁 沈阳 110004
国内会议
西宁
中文
5-11
2009-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）