双筒牵引复合型分子泵的研制

摘要：

本文介绍了成都南光机器有限公司新研制的双筒牵引复合型分子泵,对分子泵的研制意义、目的、结构形式、技术要点和不足之处做了介绍。这种新型分子泵的研制提高了国内分子泵制造的技术,为分子泵技术的更新换代开辟了一个新的道路。

关键词： 双筒牵引 复合型分子泵 制造技术

作者: 常学森 靳毅 罗宁

作者单位: 成都南光机器有限公司,成都 610100

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会2009年真空工程学术交流会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 12-14

在线出版日期: 2009-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）