气体微流量测量技术的发展

摘要：

本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。

关键词： 气体微流量计 测量装置 真空校准技术

作者: 张涤新 赵澜 成永军 冯焱 宋瑞海

作者单位: 兰州物理研究所,甘肃 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会2009年真空工程学术交流会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 41-47

在线出版日期: 2009-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）