正压漏孔校准装置优化设计
针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法。采用特殊设计,将定容室的容积减小到10mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限。采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度。在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1mm的精密细活塞及适用的动密封结构,可以将测量下限延伸到10-7 Pa·m3/s量级。通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7 Pa·m3/s,不确定度小于5％,同时具有较高的工作效率。
真空计量学 正压漏孔 漏率校准装置 优化设计
冯焱 张涤新 成永军 卢耀文 赵澜 赵光平 徐婕
兰州物理研究所,甘肃 兰州 730000
国内会议
西宁
中文
48-52
2009-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）