飞秒激光双光子聚合特征尺度的研究

摘要：

更小的特征尺度一直是飞秒激光双光子聚合追求的目标，人们进行了大量研究。对经常使用的SCR500树脂，人们获得了120nm的特征尺度，通过掺入淬灭剂，又将特征尺度降到65nm。如果不掺入淬灭剂，用SCR500实现双光子聚合，其最小特征尺度可以降到多少?本文通过提高扫描速度和采用二次聚合，将特征尺度降到25nm以下，这种方法将可以用来制备高精度三维纳米聚合结构。

关键词： 飞秒激光 双光子聚合 淬灭剂

作者: 李焱 亓凤杰 谭登峰 刘大勇 杨宏 龚旗煌

作者单位: 北京大学人工微结构和介观物理国家重点实验室 北京大学物理学院,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年强场激光物理研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 221-223

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）