奈米压印加工技术之模拟分析

摘要：

利用分子动力学模拟在奈米尺度下压印的加工过程,观察并探讨在压印及脱模过程中所可能产生的问题,并进一步的观察在压印过程中,受压印高分子的各项性质随着时间的变化,包含密度、压力、末端距离、分子链的排向性等。接着更进一步探讨在不同加工速度下或降低金属与高分子间的作用力对加工过程所产生的影响,可得压力会随着加工速度增加而增大,压印的压力增大将容易造成模具的损坏,然而降低金属和高分子间作用力将可避免脱模时的沾黏。最后降低温度及金属与高分子间的作用力,模拟压印及脱模加工程序,可得到成型的高分子奈米图案。

关键词： 分子动力学模拟 塑料加工 奈米压印技术 微影技术

作者: 林俊仪 戴启夫 张荣语

作者单位: 清华大学化学工程系 新竹

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国塑料行业新材料、新技术国际论坛暨2006中日韩及台湾地区塑料新材料、新技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 464-470

在线出版日期: 2006-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）