极紫外、软X射线和X射线多层膜技术

摘要：

本文首先介绍了极紫外与软X射线多层膜光学技术的研究意义和主要进展。然后，给出作者在软X射线多层膜分束镜和X射线超反射镜方面的研究，给出相应的实验结果。

关键词： 极紫外 软z射线 多层膜 溅射镀膜 超反射镜

作者: 王占山 朱京涛 张众 王风丽 王洪昌 程鑫彬 陈玲燕

作者单位: 同济大学精密光学工程技术研究所，上海，200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 606-609

在线出版日期: 2006-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）