光机系统光学表面面形的可视化仿真方法

摘要：

在机械载荷或热载荷作用下光机系统的光学元件表面会发生变形，这些变形将影响光学系统的成像性能。光学表面的变形分为刚体位移和表面畸变。采用有限元分析工具可以计算出光学表面在外载荷作用下的变形值，但却不能将两种变形量分离开。本文提出了一种基于有限元分析结果的可视化仿真方法。它利用zemike多项式与Seidel象差之间的对应关系，对有限元数据进行后处理，并采用数值解、表面畸变云图和理论干涉图等形式对镜面面形进行模拟。仿真试验表明，该方法不仅可以将两种变形量有效分离，而且具有图形显示的直观性，其在光机集成有限元分析中具有重要作用。

关键词： 光机系统 变形云图 理论干涉图 波像差 光学元件 光学系统 成像性能

作者: 王栋 杨洪波 陈长征

作者单位: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林，长春 130033 中国科学院研究生院，北京100039 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林，长春 130033

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 573-576

在线出版日期: 2006-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）