基于MEMS技术带透明电极可变形反射镜的研制

摘要：

变形镜是自适应光学系统的关键部件。本文提出了基于MEMS技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。反射镜由静电驱动，包含超薄硅膜镜面、驱动电极阵列及透明电极三部分.文章给出了透明电极、超薄镜面、驱动电极的制作工艺以及他们的工作特性，静态测试结果表明透明电极的引入能更好地控制镜面的形变。镜面中心最大变形量可达19μm，最大有效反射面积可达16mm2，且变形镜驱动电压低，因此能很好地改善整个自适应光学系统的性能。

关键词： 自适应光学 变形镜 静电驱动 微机械可变形反射镜 微电子机械系统 超薄硅膜 透明电极

作者: 王青玲 李大心 向东 黄玉金

作者单位: 中国地质大学地球物理与空问技术学院，湖北武汉 430074 中国地质大学数学与物理学院，湖北武汉 430074 华中科技大学光电工程系。湖北武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 481-484

在线出版日期: 2006-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）