TiN、(Ti,Al)N和TiN/(Ti,Al)N多层涂层的结构和性能研究

摘要：

借助EPMA、XRD、SEM、纳米压痕,划痕仪和切削实验研究了采用磁控溅射在硬质合金基体上沉积的TiN、(Ti,Al)N单层和TiN/(Ti,Al)N多层涂层的组织结构和力学性能。研究表明：TiN涂层的晶粒形貌为典型的喇叭口结构,呈(111)生长织构;(Ti,Al)N涂层为平直的柱状晶结构,呈(200)生长织构;TiN/(Ti,Al)N多层涂层形成了TiN、(Ti,Al)N交替的调制结构。TiN/(Ti,Al)N多层涂层具有更高的硬度,与基体更好的结合力和更好的切削性能。

关键词： TiN涂层 硬质合金 磁控溅射 纳米压痕 组织结构 切削性能

作者: 王社权 陈利 尹飞 李佳

作者单位: 株洲钻石切削刀具股份有限公司,湖南,株洲,412007 中南大学粉末冶金国家重点实验室,湖南,长沙,410083 中南大学粉末冶金国家重点实验室,湖南,长沙,410083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九次全国硬质合金学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2006-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）