用扫描电镜测量纳米级标准长度的倾斜误差计算

摘要：

用扫描电镜测量纳米级长度的时候，被测长度的倾斜会导致被测长度产生误差，通常称其为倾斜误差。本文对于倾斜误差进行了实验和分析。给出了倾斜误差与倾斜角度的关系公式和对应数据表，同时提出了减小或消除倾斜误差的方法，为提高测量准确度，建立标准测量方法，创造了条件。

关键词： 纳米级长度 倾斜误差 扫描电镜测量 倾斜角度 测量准确度

作者: 王瑞斌 赖奕坚 庄明珠 郭新秋 王铮 李刚 张训彪

作者单位: 上海交通大学 分析测试中心，上海 200030 同济大学，上海 200030

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国青年分析测试学术报告会

会议地点: 广东珠海

会议语种:中文

页码: 189-190

在线出版日期: 2006-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）