纳米金刚石薄膜的扫描探针及微观场发射性能研究

摘要：

纳米金刚石薄膜作为真空电子场发射器件的一种重要材料，由于其优异的物理化学性能和良好的场发射能力而日益得到广泛的研究和应用。电子场发射性能与金刚石薄膜的表面形貌、电导和电子表面态等密切相关，对其纳微结构与场发射性能之间的内在联系的研究业已引起广泛重视，一些研究表明金刚石薄膜表面存在促进场发射的导电通道或二次品粒之问的晶界。本文从扫描探针技术(包括AFM、KFM、STM、STS等)入手，对纳米金刚石薄膜表面进行深入细致的分析和表征，力图阐明纳米金刚石表面导电层与其场发射性质的内在相关性。

关键词： 纳米金刚石薄膜 扫描探针 表面导电层 场发射性质 物理化学性能

作者: 陈建 张卫红 薛坤 安锦

作者单位: 中山大学 测试中心，广东 广州 510275 中山大学 显示材料与技术广东省重点实验室，广东 广州 510275 中山大学 测试中心，广东 广州 510275 香港中文大学 电子工程系，香港 新界

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国青年分析测试学术报告会

会议地点: 广东珠海

会议语种:中文

页码: 197-198

在线出版日期: 2006-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）