基于MEMS工艺的八角形前腔亚毫米波集成喇叭天线
亚毫米波平面集成天线在亚毫米波频段具有其独特的优势，然而平面集成天线单元的增益较低，本文研究了一种工作于900GHz的新型的亚毫米波集成喇叭天线，用于增强平面集成天线单元的辐射性能。该喇叭天线的加工综合运用MEMS干法刻蚀和湿法腐蚀两种工艺，其结构包括棱锥形喇叭背腔和八角形喇叭前腔两部分组成，在可实现的MEMS工艺下，具有可调参数多的优点。经运用有限元法建模分析，该集成喇叭结构能够很好地改善平面集成天线的辐射性能，并可通过设计参数的综合选择，得到满足应用需求的高性能天线单元。
亚毫米波 平面集成天线 集成喇叭天线 MEMS工艺 干法刻蚀 湿法腐蚀
袁勇 刘勇 吕昕
北京理工大学信息与电子学院,北京 100081
国内会议
西安
中文
1605-1608
2009-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）