非晶碳氢膜刻蚀率与离子能量分布函数关系的研究

摘要：

在微波ECR设备中，利用能量分析器进行了对非晶碳氢膜刻蚀过程中离子能量的测量，对比根据在线椭偏仪所测的刻蚀率，我们得到离子能量分布及离子流密度对非晶碳氢膜刻蚀过程的影响关系。

关键词： 离子能量分析器 椭偏仪 非晶碳氢膜 刻蚀率 微波ECR设备 离子能量测量 离子流密度

作者: 孙超

作者单位: 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国微波毫米波会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 1718-1720

在线出版日期: 2009-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）