氧化铬薄膜划痕试验中界面的结合强度及失效机制

摘要：

本文采用非平衡磁控溅射方法在高速钢和45钢基体上制备了氧化铬薄膜,用划痕法测定了薄膜与基体的界面结合强度，分析了氧气分流量对氧化铬薄膜界面结合强度的影响,并探讨了两种基体上薄膜不同的失效机制。结果表明：45钢基体上的氧化铬薄膜在划痕试验中出现弯曲变形及失效,沿着划痕轨迹从基体剥落；高速钢基体上的薄膜楔形剥落是其主要失效机制。

关键词： 金属复层 磁控溅射 氧化铬薄膜 薄膜强度

作者: 罗飞 庞晓露 高克玮

作者单位: 北京科技大学材料科学与工程学院 北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国博士生学术论坛——材料科学分论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 229-231

在线出版日期: 2006-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）