Ba0.6Sr0.4TiO3/LaNiO3异质结构的制备与性能
本文利用脉冲激光沉积法在LaAlO3(100)基片上外延生长了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)/LaNiO3(LNO)异质结构。X射线衍射(XRD)发现,BST和LNO薄膜都具有高度的(100)取向,Φ(220)扫描表明BST和LNO面内取向和基片一致,原子力显微镜(AFM)显示样品表面光滑无裂纹,晶粒尺寸在55nm左右,表面粗糙度为4.53nm,电容测试表明,样品介电常数,可调率和损耗分别为762,82.81％和0.032，漏电流测试发现在2V的电压下,漏电流为2.41×10-7 A/cm2。
薄膜制备 激光沉积 薄膜结构 介电性能
秦文峰 熊杰 朱俊 唐金龙 张鹰 李言荣
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 610054
国内会议
北京
中文
238-240
2006-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）