关于ZnO的p型掺杂新技术综述

摘要：

本文阐述了p型ZnO的制备方法,分析了传统工艺中p掺杂的难点及其形成原因，同时对目前几种较新的p型ZnO制备方法进行了系统阐述,为进一步拓宽思维,研究了实现质量优、稳定性高和重现性好的p型ZnO薄膜技术。

关键词： 半导体薄膜 氧化锌薄膜 薄膜制备 p型掺杂

作者: 唐立丹 张跃

作者单位: 北京科技大学材料物理与化学系,北京 100083 北京科技大学材料物理与化学系,北京 100083 北京科技大学新金属材料国家重点实验室,北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国博士生学术论坛——材料科学分论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 208-210

在线出版日期: 2006-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）