热处理工艺对ZrW2O8薄膜组成与形态的影响

摘要：

本文研究了热处理温度与处理过程中通氧条件对ZrW2O8薄膜组分与形态的影响。XRD和SEM分析结果表明：随着热处理温度的升高薄膜由非晶态转变为晶态,转变初期薄膜表面凹凸不平,随着ZrW2O8含量的增加,薄膜变得致密且品粒细小,未通氧时经750℃处理的薄膜组成中ZrW2O8含量量大,温度继续升高,则ZrW2O8逐步分解直至消失,薄膜在熟处理过程中通入氧气量达到1.25 sccm后,能使薄膜ZrW2O8含量增加,晶化效果更好,并且使最佳热处理温度降低。

关键词： 锆化钨薄膜 热处理工艺 薄膜晶化 晶态转变

作者: 徐桂芳 程晓农 杨娟 肖兆娟 严学华

作者单位: 江苏大学材料科学与工程学院 江苏镇江 212013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国博士生学术论坛——材料科学分论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 265-267

在线出版日期: 2006-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）