掺杂In2O3对ZnO多孔厚膜气敏传感器性能的影响
本文以ZnO纳米粉和In2O3纳米粉为原料,利用水热热压方法制备了纯ZnO多孔纳米固体及掺杂不同含量In2O3的ZnO多孔纳米同体,利用传统的厚膜气敏传感器制备工艺,制备了纯ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器及5种掺杂不同含量In2O3的ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器,并且分别测试了这6种传感器的本征电阻(传感器在空气中的电阻值)及其对乙醇,丙酮,苯,甲醛蒸气和汽油的敏感特性。结果表明,当工作温度在室温附近时,In2O3的掺杂可明显降低ZnO传感器的本征电阻,且适量In2O3的掺杂可以提高ZnO传感器对乙醇蒸气和汽油的灵敏度。
气敏传感器 纳米材料 多孔厚膜 氧化锌粉体
徐红燕 于勤勤 崔得良
山东大学晶体材料国家重点实验室,济南 250100 济南大学材料科学与工程学院,济南 250022 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南 250100
国内会议
北京
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184-186
2006-10-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)