热处理对磁控溅射制备氧化铬涂层的结构及力学性能的影响
本文采用射频反应磁控溅射技术制备氧化铬涂层并进行热处理,通过X射线衍射、纳米压痕、摩擦磨损测试仪等研究温度及保温时间对涂层结构、硬度、弹性模量、耐磨性及涂层与基体间的结合力进行了研究。结果表明，低于其晶化温度(400℃)进行热处理对其结构影响不大,而在高于其晶化温度(500℃)进行热处理,其结构变化比较明显,同时其力学性能显著提高,其硬度从初始态的12.3 GPa提高到26 GPa,相同实验条件下的磨损量也显著降低,从初始态的1.1×10-3mm3降低到1×10-5mm3,涂层与基体之间的结合力随着热处理温度的提高、保温时间的延长有明显的改善。
金属保护 氧化铬涂层 磁控溅射 热处理工艺
庞晓露 罗飞 高克玮 杨会生 王燕斌
北京科技大学材料物理与化学系,北京 100083
国内会议
北京
中文
226-228
2006-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）