类球状微米金刚石聚晶阵列的场发射研究

摘要：

本文在覆盖条状金属钛层的陶瓷上,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶阵列,通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、喇曼(Raman)光谱等手段确定薄膜是类球状微米金刚石聚晶阵列结构,在真空度约105Pa的真空室中对阵列进行了二极结构的场发射实验。结果表明,其阈值电场仅为1.1V/μm,在3.3V/μm的电场下,其场发射电流密度高达1mA/cm2,发射点密度为104/cm2。

关键词： 金属钛层陶瓷 金刚石晶阵列 场致电子发射 化学气相沉积

作者: 高金海 张兵临 姚宁

作者单位: 郑州大学物理工程学院 郑州 450052

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国博士生学术论坛——材料科学分论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 280-282

在线出版日期: 2006-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）